真空泵的選型

1、真空泵的工作壓強應（yīng）該滿足真空設備的極限真空及工（gōng）作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選（xuǎn）用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高於真（zhēn）空設備真空度半個到一個數量級。
            
     2、正確地選擇真空泵的工（gōng）作點。每種泵都有一定的工作壓強（qiáng）範圍，如：擴散泵（bèng）為（wéi）10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強範圍內，泵的抽速隨壓強而變（biàn）化，其穩定的工作壓強範圍（wéi）為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個範圍之內，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小於1×10-5mmHg為好。
            
     3、真空泵（bèng）在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的（de）全部氣體量。
            
     4、正確（què）地組合真空（kōng）泵。由真空泵有選擇性抽氣，因（yīn）而，有時（shí）選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來（lái），互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有（yǒu）很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非（fēi）對稱（chēng）陰極濺射離子泵）對氬有一定的（de）抽速，兩者組（zǔ）合起來，便會使真空裝（zhuāng）置得到較好的真空度。另外，有（yǒu）的真空泵不（bú）能在（zài）大氣壓下工作（zuò），需要預真空；有的真空（kōng）泵出口壓強低於大氣壓，需要（yào）前級泵，故都需要把（bǎ）泵組合起來使用。
            
     5、真空設備對油汙染的（de）要求。若（ruò）設備嚴格要求無油時，應該選各種無油（yóu）泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫（wēn）泵等。如果要求（qiú）不嚴格，可以選擇有油泵，加上一（yī）些防油汙（wū）染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求（qiú）。
            
     6、了解被抽氣體成分（fèn），氣體中含不（bú）含可凝蒸氣，有無顆（kē）粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需（xū）要知道氣體成分（fèn），針對被抽氣體（tǐ）選擇相應（yīng）的泵（bèng）。如果氣體中（zhōng）含有蒸氣、顆（kē）粒、及腐蝕性氣體（tǐ），應該考慮在泵的（de）進氣口管路上安裝（zhuāng）輔助設備，如冷凝器、除塵器等（děng）。
            
     7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如（rú）果環境不允許有汙（wū）染，可以選無油真（zhēn）空泵，或者把油蒸氣排到室外。
            
     8、真空泵工作時產生的振動（dòng）對工藝過程及環境有無影響（xiǎng）。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振（zhèn）動措施。
            
     9、真空泵的價格、運轉及（jí）維修費用。
            
     水環式真空（kōng）泵的選擇
            
     一、泵類型的確定
            
     泵（bèng）的類型主要由工作所需的（de）氣量（liàng）、真空（kōng）度（dù）或排氣壓力而定。
            
     泵工作時（shí），需要注意以（yǐ）下兩個方（fāng）麵：
            
     1.盡可（kě）能要求在高（gāo）效區內，也就是在臨界（jiè）真空度或（huò）臨界排氣壓力的區域內運行。
            
     2.應避免（miǎn）在（zài）大真空度或大排氣壓力附近運行。在此（cǐ）區（qū）域內運行，不僅效率極低，而且工作（zuò）很不穩定，易產生振動和噪音。對（duì）於真空度（dù）較高的真（zhēn）空泵而言，在此區域之內運行，往往還會發生（shēng）汽蝕現象，產生這種現象的明顯標誌是泵內（nèi）有噪音和（hé）振動。汽（qì）蝕會導致泵體、葉輪（lún）等（děng）零件的損壞，以致泵無法工作（zuò）。
            
     根據以上原則，當泵所需的真空度或氣（qì）體壓力不高時，可優（yōu）先在單級泵中選取（qǔ）。如果（guǒ）真空度或排氣壓力較高，單級泵往往不能滿足（zú），或者，要求泵在較高真空度情況下仍（réng）有較大氣量，即要求性能曲線在較高真（zhēn）空度時較平坦（tǎn），可選用兩級泵。如果真空度要求在－710mmHg以上（shàng），可選用水環（huán）－大氣泵或水（shuǐ）環－羅茨真空機組作為抽真空裝置。
            
     如果隻作真空泵（bèng）用，則選用單作用泵比較好。因（yīn）為單作用泵的構造簡單，容（róng）易製造和維護，且在高真（zhēn）空情況下抗汽蝕性好。
            
     如果僅（jǐn）作較大氣量的壓縮機使用，則選用雙作（zuò）用的泵比較合（hé）適。因為（wéi）雙作（zuò）用泵的氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到自動平（píng）衡，軸不容易產生疲勞斷裂，泵的（de）使用壽命較長。

     二、根據係統所需的氣量選擇（zé）真空泵

     初步選定了泵的類型之後，對於真空泵，還要根據係統所（suǒ）需（xū）的氣量來選用泵的（de）型號。