我國真空泵市場現狀綜合分析

真空泵是一個量大麵廣的產（chǎn）品，產量很大，產值不高，但它確實是一個直（zhí）接影響到真空成套設備性能質（zhì）量的必不（bú）可少的基礎產品。真空泵從高/超真空到粗（cū）/低真（zhēn）空，其產（chǎn）品大致可分14大（dà）類：

高/超真空——低溫泵（bèng）、分子泵、濺射離子泵、鈦升（shēng）華泵、擴散（sàn）泵。

中真空——幹泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。

粗/低真空——單級旋（xuán）片泵（bèng）、滑閥泵（bèng）、液環泵、往複（fù）式真空泵。

真（zhēn）空泵的市場根據用戶的需要而發生動態變化。市場增長的主（zhǔ）要驅動力來自於半（bàn）導體工業的迅速發展以及（jí）幹泵和分子泵應用領域的日益擴大。

目前，全球真（zhēn）空泵市場的年（nián）銷售額約20億美元，年增長率在7%左右。

我國生產真空泵的廠家很多，全（quán）部真空泵的（de）年銷售額大約在1.5億元左右，僅相當於美國Kinney公司一（yī）家真空泵（bèng）的年銷售額。通過對全（quán）球真（zhēn）空泵（bèng）市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應用領域（yù）都在不斷變化（huà）和發展。我國（guó）真空泵製造業有著悠久的曆史和雄厚的基礎，國產真泵已經在各個不同領域得到應用並經過驗證，有些泵還出口（kǒu）國外，得到國外用戶的認可（kě）並（bìng）受到好評，應該說我國真空泵製（zhì）造業（yè）在國內外（wài）市場仍然有著（zhe）巨大的發展空間。

1.液環泵

雖然液環泵屬於（yú）粗真空泵，但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。在國外，液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次於幹泵，所以Nash、Seimems和（hé）Kinney等公司都在我國投資建廠或建立銷售（shòu）網絡，不（bú）斷擴大在（zài）我國的市場份額。由於液環泵大（dà）部分是鑄件，加工（gōng）要求也不高，屬勞動密集型產品，所以國產液（yè）環泵在價格上有競（jìng）爭優勢，關鍵（jiàn）是要改（gǎi）進（jìn）設計，縮小體積，減輕重量（liàng），提高效率，降低能耗。

2.滑閥泵

由於滑閥泵比較耐用、可靠，國內外各種真空爐、鍍（dù）膜（mó）機以（yǐ）及幹燥、浸漬等設備（bèi）都是用滑（huá）閥泵作為前級泵，但（dàn）是滑閥泵（bèng）鑄件重（chóng），加工工作量較大，所以國外各真（zhēn）空廠都在中國尋找合作夥伴。為了使（shǐ）國產滑閥泵能夠進入國際市場，必須進一（yī）步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油（yóu）和漏油，提高滑閥泵長期運行的（de）可靠性。

3.直聯旋片泵

隨（suí）著真空技術在各個應用領域（yù）的不斷擴大，直聯旋片泵的需求量越來越大。由於這種泵（bèng）數量很多，加工裝配工作量很大（dà），價格又很低，所以（yǐ）有（yǒu）的國（guó）外（wài）真空廠商在中國建（jiàn）立專業廠。國產（chǎn）中小型直聯旋片泵在技術上（shàng）已經過關，價格又遠比國外的泵便（biàn）宜，所以（yǐ）國產泵仍然（rán）有競（jìng）爭優勢，關鍵是要解決軸（zhóu）封漏（lòu）油（yóu）以及旋片材料（liào）和真空泵（bèng）油的性能質量問題（tí），確保（bǎo）直聯泵在高速、高溫下（xià）性能穩定和運行可靠，同時還要進（jìn）一步提高國產直聯旋片（piàn）泵抽除水蒸氣（qì）的能力。

4.羅茨泵

從國外羅茨泵生產情況來看，國外幾家大公（gōng）司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各（gè）家（jiā）羅茨泵的銷售（shòu）額（é）占全球羅茨泵銷售（shòu）額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。目前，國內外幾乎所有大型（xíng）或小（xiǎo）型的高真空和中真空係統，為（wéi）了縮短抽氣（qì）時間、提（tí）高生產效率都配有羅（luó）茨泵，所以國產羅（luó）茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法（fǎ）進入國際市（shì）場，這樣就必須進一步降低國產（chǎn）羅茨泵的振動噪聲（shēng），徹底解決軸封漏油問題（tí），改（gǎi）進泵的（de）外觀質量，提高泵內的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區的電（diàn）源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提（tí）高轉速的情況下長期運行的可靠性。

目前，國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很（hěn）快（kuài），技術上（shàng）已經成熟。由於這種泵在排氣（qì）口的下麵裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔（qiāng）以冷卻轉子，從而使（shǐ）壓縮熱得平衡，所以這種泵可以直（zhí）排大氣。為了（le）滿足不同極限真空度的（de）要求，這種泵可以串聯使用，一般前麵加一台氣（qì）冷式（shì）直排（pái）大氣羅茨泵，所達到（dào）的極（jí）限真空要比前（qián）級泵高一個數量級。這種泵（bèng）由於在（zài）泵腔內沒（méi）有工作介質，實際上也（yě）是屬於幹泵。目前，這種氣冷式（shì）直排大氣羅茨泵及機組已（yǐ）經（jīng）在石油、化工、塑料（liào）、農藥、汽輪（lún）機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝（zhuāng）置上得到了長期運行的考驗，所以應（yīng）該在國內大力推廣和應用。

5.分子泵

分子泵在國（guó）外（wài）半導體領域裏（lǐ）的許多工藝場合是（shì）用來代（dài）替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置（zhì）都彩複合分子泵和牽引（yǐn）泵（bèng）作為主泵。

由於分子（zǐ）泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低（dī）溫泵抽速的四分之（zhī）一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子（zǐ）泵（bèng）的入口側裝一個-130℃~-150℃的低（dī）溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他（tā）氣體則由分子泵抽走。這種低溫分（fèn）子泵在（zài）真空鍍膜裝置上（shàng）應用，既提高了生產效率又（yòu）改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和（hé）科學研究事業迅速發展（zhǎn），分子泵應該是我國真空泵製造（zào）業發展的重（chóng）點。首（shǒu）先，分子泵要從小到（dào）大建立完整係列，並研究開（kāi）發各種複合分子泵、牽引泵和低溫分（fèn）子泵，以滿足不同場合的需要。

6.幹泵

國外幹（gàn）泵市場（chǎng）的不斷（duàn）增長，其主要驅動來自於半導體（tǐ）行業、化學工業、薄膜產業的（de）迅速（sù）發展。在日本，半導體行業已全部（bù）用幹式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用幹式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用（yòng）領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真（zhēn）空泵、多級爪式真空泵、螺杆（gǎn）式真空泵、渦旋式真空泵、往複式活塞真空泵以及渦輪式無油（yóu）真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa，抽速從20m3/h~500m3/h。據統計，目前國產幹泵的應用（yòng）還不足1%，國內半導體工業（yè）用的幹泵全部從國（guó）外（wài）進口，其價（jià）格十分昂貴（guì）。所以，我國應大力（lì）研究開發幹泵（bèng），使幹泵成為我國真空工業新的經濟（jì）增長點。