行業新聞

真空泵是一個（gè）量大麵廣（guǎng）的產品，產量很（hěn）大（dà），產值（zhí）不高，但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產品。真空泵從高/超真空到粗/低真空，其產品大致可分14大類（lèi）：

高（gāo）/超真空（kōng）——低溫泵、分（fèn）子泵（bèng）、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵。

中真空（kōng）——幹泵（bèng）、雙級旋片（piàn）泵、羅茨泵、油增壓（yā）泵、水蒸氣噴射（shè）泵。

粗（cū）/低真空——單級（jí）旋片泵、滑閥泵、液（yè）環（huán）泵、往複式真空泵。

真空（kōng）泵的市場根據用戶的需要而（ér）發生動態變化。市場增長的主要（yào）驅動力來自於半導體工業的迅速發展（zhǎn）以及幹（gàn）泵和分子（zǐ）泵應用領域（yù）的日益擴大。

目前，全球真空泵市場的（de）年銷售額約20億（yì）美元（yuán），年增長率在7%左右。

我國生產真空泵的廠家很（hěn）多，全部真空泵的年（nián）銷售額大約在（zài）1.5億元左右，僅相（xiàng）當於美國Kinney公司一家真（zhēn）空泵（bèng）的年銷售額。通過對全球真空（kōng）泵（bèng）市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應（yīng）用領域都在不斷變化和發展。我國真空泵製造業有著悠久的曆史（shǐ）和雄厚（hòu）的基礎，國（guó）產真泵已經在（zài）各個不同（tóng）領域得到應用並經過驗證，有些泵還（hái）出口國外，得到國外用（yòng）戶的認可並受到好評，應該說我國真空泵製（zhì）造業在國內外市（shì）場仍然有著巨大的發展空間。

1.液環（huán）泵

雖然液環泵屬（shǔ）於粗真空泵，但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙（zhǐ）、醫藥等領域仍然有著很大的市場。在國外，液環泵的銷售額占全部真空泵（bèng）市場的14%，僅次於幹泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司（sī）都在我國投資建廠或（huò）建立銷售網絡，不斷（duàn）擴大在我（wǒ）國的市場份額。由於液環泵（bèng）大部分是鑄件，加工（gōng）要求也不高，屬勞動（dòng）密集型產品，所以國產液環泵（bèng）在價格上（shàng）有競爭優勢，關鍵是要改（gǎi）進設（shè）計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。

2.滑閥泵

由於滑閥泵比較耐用（yòng）、可靠，國內外（wài）各種真空爐、鍍膜機以及幹（gàn）燥、浸漬等設備都（dōu）是用滑閥（fá）泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重（chóng），加工（gōng）工（gōng）作量較大，所以國外各真空（kōng）廠都（dōu）在（zài）中國尋找合作夥（huǒ）伴。為了使國產滑閥泵能夠（gòu）進入（rù）國（guó）際市場，必須進一（yī）步降低泵的振動噪聲，杜絕（jué）噴油和漏（lòu）油，提高（gāo）滑閥泵長（zhǎng）期運行的可靠性。

3.直聯（lián）旋片泵

隨著真（zhēn）空技（jì）術在（zài）各個應用（yòng）領域的不斷擴（kuò）大，直聯旋片泵的需求量越來越大。由於這種泵（bèng）數量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空（kōng）廠商在中（zhōng）國建立專業廠。國產中小型直聯（lián）旋片泵在技術上已經過（guò）關，價格又遠（yuǎn）比國外的泵便（biàn）宜，所以國產泵仍（réng）然有競爭優勢，關鍵是要解決軸封漏油（yóu）以及旋片材料（liào）和（hé）真空（kōng）泵油的性能質量（liàng）問題（tí），確（què）保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠，同時還要進一步提高國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。

4.羅茨泵

從（cóng）國外羅茨泵生（shēng）產情況來看（kàn），國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各（gè）家（jiā）羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷（xiāo）售額的比例都沒超過5%，這5家總計（jì）才20%，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵的價（jià）格遠比（bǐ）國產泵要高（gāo）得多。目前（qián），國內外幾（jǐ）乎所有大（dà）型或小型的高真空（kōng）和中真空係（xì）統，為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵，所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場，這樣就必（bì）須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲，徹底解決（jué）軸封漏油問題，改進泵的外觀質（zhì）量，提高泵內的光潔度和清潔度。另外，還要考（kǎo）慮到有（yǒu）些國家和地區的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長（zhǎng）期運行的可靠性。

目前（qián），國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展（zhǎn）很快（kuài），技術（shù）上已經成熟。由於這種泵在排氣口的下（xià）麵裝有氣體冷（lěng）卻器（qì），其中一部分被（bèi）冷卻的氣體通過管道（dào）返回泵腔（qiāng）以冷卻轉子，從而使壓縮熱得（dé）平衡，所以這種（zhǒng）泵（bèng）可（kě）以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串（chuàn）聯使用，一（yī）般前麵加一台氣冷式直排大氣羅（luó）茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這（zhè）種泵由於在泵（bèng）腔內沒有工作介質，實際上也是屬於幹泵。目前，這種氣冷（lěng）式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化（huà）工、塑料、農藥、汽輪機（jī）轉子動平衡、航空航天空（kōng）間模擬等裝置上得到了（le）長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。

5.分子泵

分子泵在（zài）國外半導體領域裏的許多工藝場合是用來（lái）代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置（zhì）都彩複合分子泵和牽引泵作為主泵。

由於分子泵對水蒸氣的抽速僅（jǐn）為同口（kǒu）徑低溫（wēn）泵抽速的四分之（zhī）一（yī），所（suǒ）以（yǐ）分子泵的排氣（qì）時間比低溫泵長（zhǎng）。為了提高抽速，國外在分（fèn）子泵（bèng）的入（rù）口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板（bǎn），稱（chēng）之為低溫分子泵，水蒸汽被低（dī）溫板（bǎn）捕獲，其他氣體則（zé）由分子泵抽走。這種低溫（wēn）分子泵在真空鍍膜裝置上（shàng）應用（yòng），既提高了（le）生產效率又（yòu）改善了膜層質（zhì）量。隨著我國半導體工業、薄膜產（chǎn）業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是我國真空泵製造業（yè）發展的重（chóng）點。首先，分子泵要從小到大建立完整係列，並研究開發各種複（fù）合分子泵、牽引泵和低溫分子（zǐ）泵，以滿足（zú）不同場（chǎng）合的需要。

6.幹泵

國外幹泵市場的不斷增長，其主要驅動來（lái）自於半導體行業、化學工業、薄膜產業（yè）的迅（xùn）速發展。在日本，半導體（tǐ）行業已全部用幹式真空泵代替油封（fēng）式機械泵，歐美半（bàn）導體行業45%以上用幹式真（zhēn）空泵（bèng）代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。為（wéi）了滿足不同應用領域和不（bú）同工況（kuàng）的要求，國外有多級羅（luó）茨真空泵、多級爪式（shì）真空泵、螺杆（gǎn）式真空泵、渦旋（xuán）式真空泵、往（wǎng）複式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等（děng）。極限壓力從10Pa~10-2Pa，抽速從20m3/h~500m3/h。據統計，目前國（guó）產幹泵的（de）應（yīng）用還不足1%，國內半導體工業用的幹泵全部（bù）從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應大力研究開發幹泵，使幹（gàn）泵成為我國真空工業新的經濟增（zēng）長點。