真空泵选型方法
选用真空泵时(shí)需要注意下列事项:
1、真空泵的工作压强应该(gāi)满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求110-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真(zhēn)空度至少要510-6mmHg。通(tōng)常(cháng)选择泵的真空度要高(gāo)于真空设(shè)备真空度半个到一(yī)个数量级。2、正确地选择真(zhēn)空泵的工作点(diǎn)。每种泵都有一定(dìng)的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽(chōu)速随压(yā)强而变化,其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作点应该(gāi)选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以(yǐ)在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好。
3、 真空泵 在其工作压强下,应能排(pái)走真空设备工艺过程中产(chǎn)生的全(quán)部气(qì)体量。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择(zé)性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足(zú)抽(chōu)气要求,需要几种泵组合(hé)起来,互(hù)相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不(bú)能抽氦,而三极型溅射(shè)离(lí)子(zǐ)泵,(或二(èr)极型非对称(chēng)阴极溅射离子泵)对氩(yà)有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得(dé)到较好的真空度。另外,有的(de)真空泵不能在大气压下工(gōng)作,需要(yào)预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前(qián)级泵,故都需要(yào)把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格(gé)要求无油时,应该选各(gè)种无(wú)油泵,如:水环泵、分子筛吸(xī)附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱(jǐng)、障板、挡油阱等,也能(néng)达到清洁真(zhēn)空(kōng)要求。
6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性(xìng)等(děng)。选择(zé)真空泵时,需要(yào)知道气体成分,针对被抽(chōu)气体选择相应(yīng)的泵。如果气体中含(hán)有蒸气、颗粒、及腐蚀(shí)性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装(zhuāng)辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出(chū)来(lái)的油蒸气对环境的(de)影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
8、真空泵工作时产生的振动对工(gōng)艺过程及(jí)环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施(shī)。
9、真(zhēn)空(kōng)泵的价格、运转及维修费用。
水环式真空泵的选(xuǎn)择
一、泵类型的确定
泵的类型主(zhǔ)要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
泵工作时,需(xū)要注意以下(xià)两个方面: 尽可能要求在高效区内,也就是在(zài)临界(jiè)真空度或临界排气(qì)压力的区域内运行。应避免(miǎn)在大真空度或大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅(jǐn)效率极低,而(ér)且工作很不稳定,易产生振动和噪(zào)音。对于(yú)真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏(huài),以致泵无法工(gōng)作。
根据以上原(yuán)则,当泵所(suǒ)需的真空度或气体压(yā)力不高时,可优先在单级泵中选取。如果(guǒ)真空度或(huò)排气压力较(jiào)高,单级(jí)泵往往不能满足(zú),或者,要求(qiú)泵在较(jiào)高真空(kōng)度情况下仍有较大(dà)气量,即要求(qiú)性能曲线(xiàn)在较(jiào)高真空度时较平坦,可选(xuǎn)用两级(jí)泵。如果真空度(dù)要求在-710mmHg以上,可(kě)选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空(kōng)装置。
二、根据系统所需的气量选择真空泵
初步选定了泵的类型之后,对于真空泵,还要根据系统所需的(de)气量来选用泵的型号。关(guān)于真空泵的抽速选择及抽气时(shí)间计算(suàn)可参照我公司网页(yè)真空计算公式。面对各种型式的水(shuǐ)环(huán)式真空泵及压缩机,我们特将其各自特点收集(jí)如下,以利于用户选型 :
真空泵一(yī)览表
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真空表读数与真空度(Pa)该如何换算?
我们(men)经常(cháng)接到电(diàn)话,一些用户询问,真空表读数(shù)所(suǒ)反映的究竟(jìng)是多少Pa。能不能用直观的数字来显示(shì)?
(1) 真空表(biǎo)上(shàng) “0”表示正一个大气压, “-0.1”表示绝对真空。真空表上的指示值不表示真空度的绝对值,只表示了真空度(dù)的相对值。
真空度的换算; 根据本表的刻度(dù)示值范围,真空度的绝对值与相对值可用下式换算:
P=1×105(1-δ/0.1) P - 真空度的绝对值(Pa)
δ- 真空表的刻度示值绝对值
例一:表的示(shì)值为O,则P=1×105(1-O/0.1)=1×105 Pa = 1个大气压
例二:表的示值为0.1,则P=1×105(1-0.1/0.1)= 0 Pa为绝对真(zhēn)空。
(绝对真空是不存在的)
例三:表的示值为(wéi)0.08,则P=1×105(1-0.08/0.1)= 2×104 Pa
本产品的真空度指标(biāo)值为<267Pa,表示本产品在267Pa(表面示值约为(wéi)0.0997,接近于-0.1)时的低真空度状态下仍能保证正常工作。产品的真空度主要取决(jué)于配套真空泵的性能。
真空度计量单位换算如(rú)下:
0.1Mpa =1×105 Pa = 760mmHg = 1个大气压
1乇 = 1mmHg = 133.33Pa
2乇 = 0.00026666Mpa ≈267Pa
(2) 真空(kōng)表读数可(kě)以用直观的(de)数字来显(xiǎn)示。但价格比较昂(áng)贵,一般适用于科研单位